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KLA四探針電阻率測(cè)量?jī)x是KLA的電阻率測(cè)量產(chǎn)品。從半導(dǎo)體制造到實(shí)現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，薄膜電阻監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要。KLA R54 四探針電阻率測(cè)量?jī)x在功能上針對(duì)金屬薄膜均勻性測(cè)繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測(cè)量以及非接觸式薄膜厚度測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化。

型號(hào)：R54

更新日期：2025-09-12

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KLA R50 四探針電阻率測(cè)繪系統(tǒng)是KLA電阻測(cè)試系列的產(chǎn)品。電阻測(cè)量和監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要，從半導(dǎo)體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。KLA R50 四探針電阻率測(cè)量?jī)x在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測(cè)領(lǐng)域均可涉及。

型號(hào)：R50

更新日期：2025-06-24

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